一种基于MEMS智能3D感知技术的微动态三维传感器及系统

摘要

本发明公开了一种基于MEMS智能3D感知技术的微动态三维传感器及系统，包括：激光发射单元，发射激光光束；激光探测单元，探测返回的激光光束形成电信号；计时器，连接激光发射单元及激光探测单元；所述激光发射单元包括激光器及MEMS微振镜，激光器发射的激光经MEMS微振镜反射后对外射出。对激光束进行调制，使其成为多个单色激光光束的合成，并控制各个单色激光的光强按照特定的程序变化，MEMS微振镜反射扫描激光便在一个反射面上形成需要的图案。激光光源使用红外激光，整合MEMS微振镜扫描和激光测距技术，探测器接受由扫描激光从被扫描面每一点上反射回来的信号，并计算出红外激光的飞行时间，就可以采集到被扫描区域的3D坐标数据。