一种基于微纳光波导倏逝场耦合效应的微位移传感器

摘要

本发明属于位移传感器技术领域，具体涉及一种基于微纳光波导倏逝场耦合效应的微位移传感器，包括位移传感模块和信号处理模块；所述位移传感模块包括光源、微纳波导、探测器，所述微纳光波导由三根波导组成，以串联平行排布的方式置于低折射衬底上，互相间可以实现高效的倏逝场耦合；所述信号处理模块，包括放大电路、整形电路、细分电路、A/D转换器、单片机处理电路等。本发明与现有光学微位移传感器相比，采用了横向尺寸仅为100nm量级的微纳波导作为主要光学元件，结构紧凑、体积减小，有利于此类器件的微型化与集成化。本发明用于微位移的测量。