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用于压电装置的击穿电压增强的结构与方法

摘要

本公开的各种实施例涉及一种压电金属‑绝缘体‑金属(metal‑insulator‑metal,MIM)装置,其包含顶部电极与底部电极之间的压电结构。压电层包含上覆底部区域的顶部区域。底部区域的外侧壁延伸穿过顶部区域的外侧壁。顶部区域的外侧壁与顶部电极的外侧壁对齐。压电层配置成有助于限制顶部电极与压电层的分层。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L41/047 申请日:20190925

    实质审查的生效

  • 2020-04-03

    公开

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