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用于获得着色窗玻璃的靶

摘要

一种阴极溅射靶,其由一方面选自由钛、硅和锆构成的组中的至少一种元素的氧化物和另一方面在由银、金、铂、铜和镍构成的组中包括的金属的颗粒或由这些金属中的至少两种形成的合金的颗粒构成,在所述靶中的M/Me原子比小于1.5,其中M代表钛、硅、锆的组中的元素的所有原子和Me代表由银、金、铂、铜和镍构成的组中的金属的所有原子。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-04-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/00 申请日:20180427

    实质审查的生效

  • 2020-02-11

    公开

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