用于基于设备可靠性指数控制基于批次风险分数的动态批次测量的方法和系统

摘要

提供了一种用于基于设备可靠性指数控制基于批次风险分数的动态批次测量的方法和系统。根据本发明的实施例的用于控制测量的方法：计算半导体制造中用于特定工艺的特定设备的设备可靠性指数；基于设备可靠性指数，计算用于特定工艺的特定设备的风险分数；和基于风险分数，确定是否测量由用于特定工艺的特定设备处理的半导体产品。因此，根据设备可靠性指数进行差异化质量监控和管理是可行的，测量仪器可被有效地使用，质量和产量可通过及时地测量被提高，并且管理便利性可通过自动的和动态的批次测量控制被增加。