公开/公告号CN110923818A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-27
原文格式PDF
申请/专利权人 南京纳鑫新材料有限公司;
申请/专利号CN201911186446.7
申请日2019-11-28
分类号C30B33/10(20060101);C30B29/06(20060101);H01L31/0236(20060101);H01L31/18(20060101);
代理机构11265 北京挺立专利事务所(普通合伙);
代理人石磊
地址 211100 江苏省南京市江宁滨江开发区地秀路778号
入库时间 2023-12-17 07:08:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-21
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B33/10 申请日:20191128
实质审查的生效
2020-03-27
公开
公开
机译: 多晶硅膜的表面处理溶液以及使用该表面处理溶液的多晶硅膜的表面处理方法
机译: 多晶硅膜的表面处理溶液以及使用该表面处理溶液的多晶硅膜的表面处理方法
机译: 多晶硅膜的表面处理溶液以及使用该表面处理溶液的多晶硅膜的表面处理方法