一种用于GIGS太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置

摘要

本发明公开一种用于GIGS太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置，包括蒸发源本体以及设于蒸发源本体内的坩埚，其特征在于，所述蒸发源本体内壁间隔设有第一加热丝与第二加热丝，第一加热丝位于蒸发源本体的头部，第一加热丝与第二加热丝均沿蒸发源本体内壁环形分布，蒸发源本体内的底部还设有第三加热丝；坩埚内的头部设有束流块，束流块设有与坩埚同轴的束流孔，束流孔呈喇叭状，束流孔由头部朝尾部渐缩；该装置能够解决蒸发源易堵以及蒸发膜层不均匀的问题。