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叠前裂缝预测中的方位不均匀分组方法及系统

摘要

本发明公开了一种叠前裂缝预测中的方位不均匀分组方法及系统。该方法可以包括:步骤1:将CMP超道集面元按照方位角分段抽取偏移距属性,获得CMP超道集的方位角‑偏移距直角坐标系交汇投影;步骤2:根据方位角‑偏移距直角坐标系交汇投影,将覆盖次数、中心角度与扇区投影到极坐标中,获得初始方位角‑偏移距极坐标图;步骤3:根据初始方位角‑偏移距极坐标图,调节扇区角度,确定多个目标扇区,使得各个目标扇区内覆盖次数的差值小于差值阈值,获得最终的方位角‑偏移距极坐标图。本发明通过调整方位扇区大小,并结合偏移距范围,获得满足要求的划分方案。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01V1/36 申请日:20180930

    实质审查的生效

  • 2020-04-07

    公开

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