一种高精度光学元件干涉检测中的装夹装置

摘要

本发明涉及一种高精度光学元件干涉检测中的装夹装置，包括底座；底座两侧各设置一组支撑柱；每一组连接推动部一侧均与支撑柱连接；每一组连接推动部另一侧均对应连接一组夹持部，且使两组夹持部沿相对方向做夹紧或放松运动；每一组夹持部上均具有与光学元件侧面抵接的弹性件；力传感器固定于连接推动部上用于测量夹持部对光学元件夹持力的反作用力。光学元件通过底座、两侧的夹持部三点夹持，保证了光学元件装夹的稳定，弹性件有利于改善夹持部对光学元件的夹持力的均匀性，从而减小光学元件变形及其对检测精度的影响；力传感器用于测量夹持部对光学元件夹持力的反作用力，为夹持过程中调节夹持力的大小提供参照。