集成背面垂直型和正面水平型三维磁场探测功能的高温霍尔传感器及其制作方法

摘要

一种集成背面垂直型和正面水平型三维磁场探测功能的高温霍尔传感器及其制作方法，属于半导体传感器领域。技术要点：包括衬底、缓冲层、异质结结构层，所述衬底上依次生长缓冲层和异质结结构层，所述异质结结构层中存在二维电子气；所述衬底下表面设有用于感测平行于器件表面磁场的垂直型霍尔传感器，所述异质结结构层上表面设有用于感测垂直于器件表面磁场的“十”字水平型霍尔传感器。有益效果：本发明采用适应高温环境的完全宽禁带材料，所述的集成背面垂直型和正面水平型三维磁场探测功能的高温霍尔传感器既可以在高温下稳定的工作，又测量空间任意方向磁场，同时在测量X，Y，Z三个方向的磁场时具有较大的灵敏度。