多孔卡盘工作台、多孔卡盘工作台的制造方法和加工装置

摘要

提供多孔卡盘工作台、多孔卡盘工作台的制造方法和加工装置。该多孔卡盘工作台的多孔板由与以往不同的材料粒形成。该多孔卡盘工作台对板状的被加工物进行吸引保持，其中，该多孔卡盘工作台具有：多孔板，其具有多孔质构造，并且具有对被加工物进行吸引保持的保持面；以及框体，其围绕多孔板，具有与保持面为同一面的正面，在多孔板中，相互相邻的球状的玻璃粒局部地连接，玻璃粒彼此之间的间隙成为供流体流动的气孔。