卡盘工作台、多孔陶瓷吸引板的制造方法和吸引保持系统

摘要

提供卡盘工作台、多孔陶瓷吸引板的制造方法和吸引保持系统，即使载置在卡盘工作台上的被加工物的大小、形状发生改变也能够良好地保持被加工物。一种卡盘工作台，对板状被加工物进行吸引保持，其中，该卡盘工作台具有：吸引板，其由多孔陶瓷形成，具有多个通气孔；以及框体，其对该吸引板的除了吸附面之外的侧面和背面进行覆盖，并对该吸引板进行支承，该框体具有形成于上表面的多个吸引槽和将该吸引槽与吸引源连通的连通路，该多孔陶瓷吸引板的气孔率的体积比为60～70％，该多个通气孔的直径为10μm～25μm。