一种ZnO薄膜紫外探测器件的制备方法

摘要

本发明提供了一种ZnO薄膜紫外探测器件的制备方法，该方法是采用原子层沉积法生长ZnO薄膜，再采用快速热退火处理，得到需要的ZnO薄膜，最后蒸镀电极形成紫外探测器件。这种紫外探测器件可以大面积生长，均匀性好，具有很小的暗电流，大的光暗电流比，响应时间短，响应度高的优点。