质谱检测装置及其光学系统

摘要

本发明涉及一种质谱检测装置及其光学系统。光学系统中激光单元的激光器采用固体激光器，激光的入射方向与离子源腔体的轴线方向所形成的角度非常小，激光电离产生的粒子的初始速度方向基本是沿离子源腔体的中轴方向发散，因此离子的初始动能发散较小，有利于提高质谱检测装置的分辨率及灵敏度。而照明单元发出的照明光和成像光路与离子源腔体的轴线方向所形成的角度也非常小，且照明和成像方向完全对称，因而照明光源在样品靶板表面产生的照射面积与成像单元成像的面积的交叉范围可以达到最大化，既可以避免邪影效应的产生，又能够大大提高成像的范围，进而成像质量大大提高。