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静电电容式高度传感器以及使用其的激光加工喷嘴、激光加工装置

摘要

静电电容式高度传感器(10)具备:传感器电极(11),被安装于激光加工喷嘴(1)的前端;信号处理部(13),向传感器电极(11)提供电压信号,并且对来自传感器电极(11)的信号进行检测来测量传感器电极(11)的前端与电连接于接地的被加工物(5)的距离;和电缆(12),将传感器电极(11)与信号处理部(13)电连接。信号处理部(13)具有:断线判定部,在来自传感器电极(11)的信号为规定的值以上时,判定为电缆(12)断线。

著录项

  • 公开/公告号CN110662938A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-01-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 松下知识产权经营株式会社;

    申请/专利号CN201880033676.7

  • 发明设计人 田中康之;吉田裕也;

    申请日2018-02-16

  • 分类号G01B7/14(20060101);B23K26/00(20140101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人韩丁

  • 地址 日本国大阪府

  • 入库时间 2023-12-17 06:47:23

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-03-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B7/14 申请日:20180216

    实质审查的生效

  • 2020-01-07

    公开

    公开

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