公开/公告号CN110869295A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-06
原文格式PDF
申请/专利权人 福伊特专利有限公司;
申请/专利号CN201880043771.5
发明设计人 马丁·舒尔特-菲舍迪克;亚当·格洛迪斯维奇;
申请日2018-06-13
分类号B65G21/06(20060101);B65G23/22(20060101);B65G23/36(20060101);B65G23/14(20060101);
代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人杨靖;韩毅
地址 德国海登海姆
入库时间 2023-12-17 06:47:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-31
实质审查的生效 IPC(主分类):B65G21/06 申请日:20180613
实质审查的生效
2020-03-06
公开
公开
机译: 基板传送机构和包括该基板传送机构的基板传送设备,该基板传送机构和设备的颗粒去除方法,用于执行该方法的程序以及用于存储该程序的存储介质
机译: 晶片传送机器人的刀片,具有包括该晶片传送机器人的传送机器人的半导体制造设备以及将晶片与处理室对准的方法
机译: 基板传送机械手和具有用于清洗基板的基板传送机械手的设备