一种基于寄生惯性原理的新型高效压电旋转精密驱动平台

摘要

本发明涉及一种基于寄生惯性原理的高效压电旋转精密驱动平台，包括两个压电叠堆、两个非对称薄壁式柔性铰链机构、转子、预紧螺钉、预紧楔块和底座。两组压电叠堆在电压信号驱动下可伸长和恢复；两组非对称薄壁式柔性铰链机构可实现寄生惯性运动；预紧螺钉和预紧楔块调节非对称薄壁式柔性铰链机构与转子间的初始预紧力；底座起支撑作用。本发明两个压电叠堆在电压的时序控制下，交替提供驱动，使非对称薄壁式柔性铰链机构做仿生爬行运动，既增加了输出负载，又消除了运动周期内动子的回退现象，提高了装置的输出性能，实现了转子的高效旋转。该平台可应用于精密超精密机械加工、微机电系统、微操作机器人、大规模集成电路制造、生物技术领域。