一种可插入式气相团簇软沉积装置和方法

摘要

本发明涉及一种可插入式气相团簇软沉积装置和方法，包括：依次连接的软沉积腔和样品腔，以及与样品腔连通的真空模块和配气模块；软沉积腔内设质谱仪，质谱仪用于对气相团簇进行质谱分析；样品腔与软沉积腔通过设置在二者连接处的插板阀分割或连通，样品腔内设有能够往复运动的样品台，样品台上设有沉积基底；真空模块对软沉积腔和样品腔抽真空；配气模块向经过抽真空的软沉积腔和样品腔内通入惰性气体。本装置将气相团簇的质谱分析装置与软沉积实验装置结合，能够在进行质谱实验过程中方便地使用软沉积功能，并且在软沉积过程中实时监控气相团簇的沉积量，保证了沉积的气相团簇足够进行后续实验。