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公开/公告号CN110690103A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-01-14
原文格式PDF
申请/专利权人 西安电子科技大学;
申请/专利号CN201910843353.0
发明设计人 赵天龙;补钰煜;过润秋;冯兰胜;宋建军;戴显英;
申请日2019-09-06
分类号
代理机构西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘长春
地址 710071 陕西省西安市太白南路2号
入库时间 2023-12-17 06:34:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20190906
实质审查的生效
2020-01-14
公开
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