半导体器件实验流程和生产流程的综合配置、流程及执行系统

摘要

根据本发明的实施例，综合配置、流程和执行系统(ICFES)可用来规定、控制和记录晶片的半导体器件实验批量和生产批量的处理历史。此外，该系统允许将预先存在的流程框的一个或多个部分流程和特殊处理组合到另一个处理流程框中。可创建包括流程框的批量计划，并且可在处理批量计划之前或期间更新批量计划，以包括部分流程和特殊处理。