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Wafer Container Monitoring Concerning Airborne Molecular Contaminations along a 300 mm Power Semiconductor Production Flow

机译：沿着300 mm功率半导体生产流程的空气传播分子污染的晶圆集装箱监测

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Peter Franze; Germar Schneider; Stefan Kaskel;
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年度 2021
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1. Contamination Control for Wafer Container Used within 300 mm Manufacturing for Power Microelectronics [J] . Germar Schneider, Thi Quynh Nguyen, Matthias Taubert, Diffusion and Defect Data. Solid State Data, Part B. Solid State Phenomena . 2016,第Null期

机译：功率微电子设备300毫米制造中使用的晶片容器的污染控制
2. Reduction of Airborne Molecular Contamination on 300 mm FrontOpening Unified POD (FOUP) and Wafers Surface by VacuumTechnology [J] . Philippe MAQUIN, Hisanori KAMBARAa Diffusion and Defect Data. Solid State Data, Part B. Solid State Phenomena . 2009,第Null期

机译：通过真空技术减少300毫米FrontOpening统一POD（FOUP）和晶圆表面上的空气传播分子污染
3. Reduction of Airborne Molecular Contamination on 300 mm Front Opening Unified POD (FOUP) and Wafers Surface by Vacuum Technology [J] . Philippe MAQUIN, Hisanori KAMBARA Diffusion and Defect Data. Solid State Data, Part B. Solid State Phenomena . 2009,第0期

机译：通过真空技术减少300 mm前开口统一POD（FOUP）和晶圆表面上的空气传播分子污染
4. Wafer Container Monitoring Concerning Airborne Molecular Contaminations along a 300 mm Power Semiconductor Production Flow [C] . Peter Franze, Germar Schneider, Stefan Kaskel International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces . 2021

机译：沿着300毫米功率半导体生产流程的空气传播分子污染的晶圆容器监测
5. Orthogonal Spatial Material Flow structures with application to 300mm semiconductor fab automation. [D] . Ting, Juu-Hwa. 1999

机译：正交空间材料流结构及其在300mm半导体工厂自动化中的应用。
6. Effect of Electrostatic Charge on the Contamination of Plastic Food Containers by Airborne Bacterial Spores [O] . Lester E. Baribo, John S. Avens, Richard D. ONeill 1966

机译：静电对机载细菌孢子污染塑料食品容器的影响
7. Experimental Wafer Carrier Contamination Analysis and Monitoring in Fully Automated 300 mm Power Production Lines [O] . Clara Zängle, Markus Pfeffer, Peter Franze, 2021

机译：实验晶圆载体污染分析和监控全自动300毫米电力生产线
8. Monitoring Epiready Semiconductor Wafers. [R] . Allwood, D. A., Cox, S., Mason, N. J., 2002

机译：监控Epiready半导体晶圆。

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