一种含多元醇和PEG的单晶硅制绒添加剂配方

摘要

本发明涉及一种含多元醇和PEG的单晶硅制绒液的添加剂配方，添加剂的组分为：多元醇，PEG，有机酸钠盐，无机盐和去离子水。其中多元醇是MPD、乙二醇、1，2‑丙二醇、丙三醇和1，4‑丁二醇中一种或几种的混合物，与水的重量比为0.5‑2.5:100；PEG包括PEG200、PEG400、PEG600、PEG800和PEG1000中一种或几种的混合物，与水的重量比为1.0‑3.0:100；有机钠盐是丁二酸钠、乙二酸钠、苯甲酸钠、苯乙酸钠和间苯二甲酸钠中一种或几种的混合物，与水的重量比为0.1‑1.0:100；无机盐是NaCl、KCl、Na2SO4、K2SO4、Na2SiO3中一种或几种的混合物，与水的重量比为0.1‑1.0:100。单晶硅表面制绒剂配方为：1 L去离子水中加入重量百分浓度为30%的NaOH溶液20.0‑40.0mL，加入本添加剂8.0‑18.0mL。