基于SnO2@Fe2O3纳米异质结构敏感材料的低功耗丙酮气体传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于SnO2@Fe2O3纳米异质结构敏感材料的低功耗丙酮气体传感器及其制备方法，由SnO2花状纳米结构粉体材料表面有序生长Fe2O3纳米棒得到SnO2@Fe2O3纳米异质结构敏感材料，将SnO2@Fe2O3纳米异质结构敏感材料涂覆于封装MEMS芯片的铂工作电极上制作低功耗丙酮气体传感器，其利用SnO2与Fe2O3的界面形成异质结产生协同作用，提升了对丙酮气体的响应灵敏度和响应时间，降低了检测的最佳工作温度，使丙酮气体传感器功耗下降。