微纳米结构组件制造方法、以及以该法制造的微纳米结构组件

摘要

制造微纳米结构组件的方法，包括：提供滤膜；提供MEMS传感器，MEMS传感器上具有开口且能够经其进行感测；将滤膜结合到MEMS传感器上使滤膜覆盖开口。提供滤膜包括：将基板(108)覆以滤膜材料层(107)，在滤膜材料层上再覆以光刻胶层(106)；对基板(108)加热以软化光刻胶层；用模具对基板(108)加压，模具由叠合的图案层(104)和背层(102)组成，背层受到加压以使得图案层接触光刻胶层；在持续用模具对光刻胶层加压的同时冷却光刻胶层以使其固化，在光刻胶层上形成与图案层相符的图案；移除模具；通过干蚀刻移除在图案上残留的光刻胶；以光刻胶层为掩模，对滤膜材料层(107)进行干蚀刻或湿蚀刻以将光刻胶层的图案转移到滤膜材料层上。