正型光阻组成物及图案化聚酰亚胺层的形成方法

摘要

本发明提供一种正型光阻组成物及图案化聚酰亚胺层的形成方法，正型光阻组成物包括甲酚型酚醛树脂、重氮萘醌类感光剂以及有机溶剂；以100重量份的该甲酚型酚醛树脂为基准，该重氮萘醌类感光剂的用量为40重量份至60重量份，该甲酚型酚醛树脂中游离甲酚的含量低于2重量百分比，且该甲酚型酚醛树脂以3.5重量百分比至7重量百分比的四甲基氢氧化铵水溶液溶解的碱性溶解速率低于285埃/秒。本发明的正型光阻组成物对聚酰亚胺剥除剂具有优异的耐化学性，能具体提升光阻层对低介电性的聚酰亚胺层的保护能力，从而优化图案化聚酰亚胺层的工艺与品质。