显影液再生系统及其正负型光刻胶分离装置

摘要

本发明提供一种显影液再生系统及其正负型光刻胶分离装置，主要由一存储槽通过一送液组及一压力/流量感应器连接一超过滤膜，并由该超过滤膜分别连接一排放量/时间比例控制组所组成；当一显影废液于该存储槽，并由该送液组使显影废液流入该超过滤膜，以将正负型光刻胶进行分离，则该超过滤膜将过滤分离后的一清澈显影液回收至一显影液再生设备进行再生处理，又将一高光刻胶废液通过该排放量/时间比例控制组进行调节以排出一含高浓度光刻胶废液；通过预先分离该显影废液中过大的光刻胶粒子，达到提升系统耐用性、碱度、显影液再生品质的目的。