用于降低氯硅烷中硼、磷杂质含量的吸附设备

摘要

本发明公开了用于降低氯硅烷中硼、磷杂质含量的吸附设备，属于多晶硅制造技术领域，其主要通过设置多个吸附单元构成吸附柱，以使实施人员能依据氯硅烷的流量，而对其吸附柱筒身本体内的吸附单元的个数进行调整，优化吸附剂使用效率。