微热板和微热板的制作方法

摘要

本申请涉及一种微热板和微热板的制作方法。粘附层设置于石英玻璃基底的表面。电极层设置于粘附层远离石英玻璃的表面。石英玻璃基底远离粘附层的表面设置有凹槽。由于石英玻璃基底具有热导率低的特性，石英玻璃基底与环境的热传导能力较差，从而能够降低微热板的功耗，提高能量利用效率。同时，石英玻璃基底具有绝缘耐高温的特性，因此在石英玻璃基底的表面可以省去绝缘材料，从而简化了“三明治”薄膜结构，提高了热稳定性。同时，凹槽可以减少石英玻璃基底的热容，降低功耗。同时由于凹槽具有底部。因此可以对粘附层和电极层起到支撑的作用，增强了结构强度，避免粘附层和电极层由于悬空由于移动或者振动等情况而损坏。