一种多纵模激光器谐振腔腔体温度变化测量装置及测量方法

摘要

本分案申请涉及激光器技术领域，尤其涉及一种多纵模激光器谐振腔腔体温度变化测量装置及测量方法，测量装置均包括多纵模激光器、振动目标、滑块、滑轨、分束器、光衰减器、光电探测器、信号预处理单元和信号处理单元，振动目标的振动面附着有反射膜或者反射平面镜，多纵模激光器出射激光到振动目标上，振动目标接收出射激光并反馈回激光器谐振腔内，振动目标底部固定于滑块上，滑块设置于滑轨上，分束器将自混合信号分束到光电探测器上，光电探测器输出端依次连接信号预处理单元和信号处理单元。本分案申请结构简单，易于实现，制造成本低，能够实现多纵模激光器谐振腔腔体温度变化的实时非接触高精度测量。