电子加速器溅射离子泵的温度保护装置

摘要

本发明公开了电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，包括下固定板和上固定板，所述下固定板和上固定板之间固定安装有离子泵泵体，所述离子泵泵体左端和右端军固定安装有一组温度保护机构，所述上固定板上端中部固定安装有进气口，且进气口下端与离子泵泵体内部相通，所述进气口上端固定连接有真空法兰，所述进气口外表面左部上侧固定安装有阳极引线。本发明所述的电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，通过设置温度保护机构，当离子泵泵体温度超过控制器设置的最高温度时，控制器控制切断开关将离子泵泵体的电源切断，保护离子泵泵体，通过设置循环降温装置，在离子泵泵体运行时吸收其产生的温度。