用于光声气体传感器的检测器模块

摘要

本发明公开了用于光声气体传感器的检测器模块，其包括：第一衬底(11；21；31；41)，其由半导体材料制成并且包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面；第二衬底(12；22；32；42)，其包括第三表面、与所述第三表面相对的第四表面、以及形成于所述第四表面中的第一凹陷(12A；22A；32A；42A)，其中，所述第二衬底利用其第四表面连接至所述第一衬底，以使得所述第一凹陷形成填充有参考气体的气密性闭合第一单元(13；23；33；43)；以及压力敏感元件(14；24；34；44)，其包括被设置为与所述参考气体接触的膜(11.1；21.1；34.11；44.11)；其中，所述检测器模块被进一步配置为使得光脉冲束通过所述第一衬底并由此进入所述第一单元。