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一种ZnO/Ag/ZnO复合透明导电薄膜的制备方法

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本发明公开了一种ZnO/Ag/ZnO复合透明导电薄膜的制备方法，属于复合功能薄膜材料技术领域。本发明的技术方案要点为：一种ZnO/Ag/ZnO复合透明导电薄膜的制备方法，在基底上先利用溶胶旋涂法制备掺杂ZnO薄膜，然后在掺杂ZnO薄膜上制备Ag薄膜，再在Ag薄膜上制备掺杂ZnO薄膜，低温烧结后得到ZnO/Ag/ZnO复合透明导电薄膜。本发明采用溶胶-凝胶技术制备掺杂ZnO薄膜和Ag薄膜的方法制得的ZnO/Ag/ZnO复合透明导电薄膜具有较好的透过率和导电性能，并且成本低廉，适于工业化生产。

著录项

公开/公告号CN104593758A

专利类型发明专利
公开/公告日2015-05-06

原文格式PDF
申请/专利权人河南师范大学;
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申请/专利号CN201410823802.2
发明设计人王显威;苏留辉;胡艳春;王小二;侯新亚;
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申请日2014-12-26
分类号C23C20/08(20060101);H01B5/14(20060101);
代理机构41107 新乡市平原专利有限责任公司;
代理人路宽
地址 453007 河南省新乡市牧野区建设东路46号
入库时间 2023-12-17 04:53:00

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-12-22

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C20/08 申请公布日:20150506 申请日:20141226

发明专利申请公布后的视为撤回
2015-09-16

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C20/08 申请日:20141226

实质审查的生效
2015-05-06

公开

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