利用激光偏振选择性烧蚀结合酸蚀制备微通道的方法

摘要

本发明涉及一种利用飞秒激光偏振选择性烧蚀结合化学酸蚀高效率制备微通道的方法，属于飞秒激光应用技术领域，本发明中针对晶态材料特性，通过调节激光偏振参数与材料晶轴夹角，进而调控激光与材料相互作用过程中的局部瞬时电子动态，诱导激光加工区域材料改性，之后辅助化学酸蚀，从而提高微通道的加工效率和加工精度，本方法简单高效，在微流体加工领域有重要研究意义。