在光罩检验期间使用经处理图像对用于选择性灵敏度的细线检测

摘要

本发明揭示一种用于基于点图像的细线检测的检测方法。所述方法包含用于从掩模的经透射光学图像及经反射光学图像产生带限点图像的步骤。校准所述点图像以最小化来自所述点图像的多个光学像差。将所述点图像还原回到掩模图像以允许以下各项中的至少一者：所述掩模图像上的细线区与非细线区之间的较可靠分割，或用于促进分割的较准确线宽度测量。在所述经还原掩模图像上区分细线特征与非细线特征。生长含有细线特征的区，同时防止所述细线生长入侵所述非细线特征。