采用分子泵和低温泵并行抽气的航天器漏率测试系统

摘要

本发明公开了一种采用分子泵和低温泵并行抽气的航天器漏率测试系统，包括用于容纳待检航天器的检漏容器、低温泵、涡轮分子泵、复合分子泵、干泵及配套管路阀门，检漏容器通过阀门连接有低温泵，还分别设置有涡轮分子泵组和复合分子泵组，涡轮分子泵组由并联设置的多个相互串联的涡轮分子泵和阀门组成，复合分子泵组由并联设置的多个相互串联的复合分子泵和阀门组成，复合分子泵组和涡轮分子泵组再分别串联有作为前级泵的干泵，其中，复合分子泵组与其串联的干泵之间设置有氦质谱检漏仪。本系统的检漏系统，通过低温泵、涡轮分子泵、复合分子泵、干泵的相互配合，使得航天器泄漏出的氦气的绝大部分被氦质谱检漏仪检测，因此有效提高了检漏灵敏度。