检漏用多口复合分子泵抽气特性的研究

目录

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摘要

1．1选题背景及课题来源

1．2分子泵的发展状况

1．3氦质谱检漏技术概况

1．4课题主要研究内容

1．5课题的研究意义与实用价值

第2章多口复合分子泵抽气理论与计算方法

2．1引言

2．2多口复合分子泵抽气性能计算方法

2．2．1氦质谱检漏仪的真空系统

2．2．2多口复合分子泵计算模型

2．3涡轮级抽气理论与计算方法

2．3．1涡轮级抽气原理

2．3．2单叶列抽气性能计算方法

2．3．3组合叶列抽气性能计算方法

2．3．4积分均值法与程序化设计

2．4牵引级抽气理论与计算方法

2．4．1牵引级抽气原理

2．4．2多槽抽气性能计算方法

2．4．3逐段判别流态法与程序化设计

2．5本章小结

第3章分子泵内部结构参数对抽气特性的影响

3．1引言

3．2涡轮级参数对抽气性能的影响

3．2．1不同种类气体的抽速比较

3．2．2叶片倾角对抽气性能的影响

3．2．3叶片数目对抽气性能的影响

3．2．4叶片高度对抽气性能的影响

3．2．5叶片厚度对抽气性能的影响

3．3牵引级参数对抽气性能的影响

3．3．1螺旋升角对抽气性能的影响

3．3．2牵引槽深对抽气性能的影响

3．3．3转子与定子的间隙对抽气性能的影响

3．4本章小结

第4章抽气口位置对抽气性能的影响

4．1引言

4．2漏孔的气流特性

4．3涡轮级抽气口位置分析

4．3．1涡轮级抽气性能计算

4．3．2工作压力与开口位置的关系

4．3．3漏孔的漏率与开口位置的关系

4．3．4质谱室许可压力对开口位置的影响

4．3．5最小可检漏率对开口位置的影响

4．4牵引级抽气口位置分析

4．4．1牵引级抽气性能计算

4．4．2工作压力与开口位置的关系

4．4．3漏孔的漏率与开口位置的关系

4．4．4质谱室许可压力对开口位置的影响

4．4．5最小可检漏率对开口位置的影响

4．5本章小结

5．1结论

5．2展望

参考文献

致谢

附录