硅片烘烤的控制方法、控制装置及其控制系统

摘要

一种硅片烘烤的控制方法，包括：获取至少一个烘箱的烘烤结束时间，每个所述烘烤结束时间分别与每个所述烘箱对应；按照预设时间间隔获取当前时间；将所述当前时间与每个所述烘箱对应的烘烤结束时间进行对比；当所述烘箱对应的烘烤结束时间与所述当前时间相同时，则控制与当前时间相同的所述烘烤结束时间所对应的烘箱报警。本发明的技术方案中提供的硅片烘烤的控制方法以及控制装置和控制系统中，将不同烘箱的烘烤时间集中管理，方便工程人员进行监控和管理。

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种硅片烘烤的控制方法、控制 装置及其控制系统。

背景技术

在集成电路制造工艺中，常常需要进行将硅片放入烘烤的操作。不同工艺 和不同产品需要进行的烘烤的方式和烘烤时长不同，使得现有的烘箱设备种类 不一，操作方式也各不相同，监控方式也不同。并且，在实际的工厂设置中， 由于不同的烘烤所处的工艺阶段不同，不同的烘箱很可能位于不同的产房。

目前传统的方式中在烘烤过程中针对每个烘箱设定定时器，每个定时器设 定不同烘烤时间以监控对应的烘箱。这样的方式，不便于对位于不同位置的不 同类型的烘箱的烘烤工艺进行实时监控，不利于生产的进行。

发明内容

针对传统方式中，不同烘箱单独控制不利于生产进行的问题，本发明提供 一种硅片烘烤的控制方法，包括：

获取至少一个烘箱的烘烤结束时间，每个所述烘烤结束时间分别与每个所 述烘箱对应；

按照预设时间间隔获取当前时间；

将所述当前时间与每个所述烘箱对应的烘烤结束时间进行对比；

当所述烘箱对应的烘烤结束时间与所述当前时间相同时，则控制与与当前 时间相同的所述烘烤结束时间所对应的烘箱报警。

在其中一个实施例中，所述获取烘箱的结束时间的步骤包括：

分别获取用户输入的每个所述烘箱的烘烤时长和烘烤开始时间；

根据所述烘烤时长和烘烤开始时间计算出对应烘箱的所述烘烤结束时间。

在其中一个实施例中，所述方法还包括：

当不存在所述烘箱对应的烘烤结束时间与所述当前时间相同时，则返回至 所述按照预设时间间隔获取当前时间的步骤。

在其中一个实施例中，所述当烘箱对应的烘烤结束时间与所述当前时间相 同时，控制与当前时间相同的所述烘烤结束时间所对应的烘箱报警的步骤为：

当所述烘箱对应的烘烤结束时间与所述当前时间相同时，生成控制指令， 并将所述控制指令发送至控制电路，所述控制电路通过所述控制指令控制与当 前时间相同的所述烘烤结束时间所对应的烘箱的报警器报警。

本发明还提供了一种硅片烘烤控制装置，所述装置包括：

烘烤结束时间获取模块，用于获取至少一个烘箱的烘烤结束时间，每个所 述烘烤结束时间分别与每个所述烘箱对应；

当前时间获取模块，用于按照预设时间间隔获取当前时间；

时间对比模块，用于将所述当前时间与每个烘箱对应的烘烤结束时间进行 对比；

控制指令生成模块，用于当所述烘箱对应的烘烤结束时间与所述当前时间 相同时，生成控制与当前时间相同的所述烘烤结束时间所对应的烘箱报警的指 令。

在其中一个实施例中，所述烘烤结束时间获取模块还包括：

烘烤时长获取模块，用于分别获取每个所述烘箱的烘烤时长；

烘烤开始时间获取模块，用于分别获取每个所述烘箱进行烘烤的开始时间；

计算模块，用于根据每个所述烘烤时长单元中的烘烤时长和当前时间计算 出对应烘箱的所述结束时间。

本发明另提供了一种硅片烘烤的控制系统，包括硅片烘烤控制装置、控制 电路和多个与烘箱对应的报警器；所述硅片烘烤控制装置包括：

烘烤结束时间获取模块，用于获取至少一个烘箱的烘烤结束时间，每个所 述烘烤结束时间分别与每个所述烘箱对应；

当前时间获取模块，用于按照预设时间间隔获取当前时间；

时间对比模块，用于将所述当前时间与每个烘箱对应的烘烤结束时间进行 对比；

控制指令生成模块，用于当所述烘箱对应的烘烤结束时间与所述当前时间 相同时，生成控制与当前时间相同的所述烘烤结束时间所对应的烘箱报警的指 令；

所述控制电路与所属硅片烘烤装置连接，用于接收所述指令，通过所述指 令控制与所述烘箱对应的报警器报警。

在其中一个实施例中，所述烘烤结束时间获取模块还包括：

烘烤时长获取模块，用于分别获取每个所述烘箱的烘烤时长；

烘烤开始时间获取模块，用于分别获取每个所述烘箱进行烘烤的开始时间；

计算模块，用于根据每个所述烘烤时长单元中的烘烤时长和当前时间计算 出对应烘箱的所述结束时间。

本发明的技术方案中提供的硅片烘烤的控制方法以及控制装置和控制系统 中，将不同烘箱的烘烤时间集中管理，方便工程人员进行监控和管理。

附图说明

图1为一个实施例中提供的硅片烘烤的控制方法的流程图；

图2为一个实施例中提供的硅片烘烤的控制方法的实施原理图；

图3是一个实施例中提供的硅片烘烤的控制系统的方框图。

具体实施方式

图1是本实施例提供的硅片烘烤的控制方法的流程图。具体的，所述硅片 烘烤的控制方法的步骤包括：

执行步骤S110：获取至少一个烘箱的烘烤结束时间，每个所述烘烤结束时 间分别与每个所述烘箱对应；

执行步骤S120：按照预设时间间隔获取当前时间；

执行步骤S130：将所述当前时间与每个所述烘箱对应的烘烤结束时间进行 对比；

当所述烘箱对应的烘烤结束时间与所述当前时间相同时，

则执行步骤S140：控制与当前时间相同的所述烘烤结束时间所对应的烘箱 报警。

图2所示为本实施提供的烘烤的控制方法的实施原理示意图。如图2所示， 由硅片烘烤的控制系统发送指令给控制电路，以控制不同的烘箱上的报警器。 其中，每个烘箱分别对应一个报警器，如烘箱1对应报警器1，烘箱2对应报警 器2，……，（其它依此类推）。所述硅片烘烤的控制方法主要利用主线程控制若 干子线程的多线程技术进行。

以下结合图1和图2，详细介绍本实施提供的所述硅片烘烤的控制方法的具 体实施情况。具体如下：

执行步骤S110：获取至少一个烘箱的烘烤结束时间，每个所述烘烤结束时 间分别与每个所述烘箱对应；

在本实施例中，主线程将所获取的某个烘箱对应的结束时间依次存放入一 个存储数组，同时对应所述结束时间在所述存储数组中的地址对应建立一个子 线程。相应的，每个子线程即对应一个进行烘烤工艺的烘箱。

执行步骤S120：按照预设时间间隔获取当前时间；

在本实施例中，所述当前时间为计算机上的时间，在其它实施例中，所述 当前时间也可以为按固定频率记录次数的计算线程的当前次数。

所述获取当前时间的操作由主线程控制完成。具体的，所述主线程中设置 当前时间单元，并按照一定周期去获取当前时间，并实时更新记录在当前时间 单元。

所述周期可以设置为0.01s～1s，具体可为运行主线程的CPU周期的整数倍。

具体的，本实施例中，进行步骤S110的同时也在进行步骤S120。得到所述 烘箱的结束时间的方式为：操作人员对应烘箱输入所述烘箱的烘烤时长，主线 程再根据所述烘烤时长和当前时间计算得到所述结束时间。

其中，所述当前时间也处于实时变化之中，具体为开始启动所述烘箱的烘 烤的当前时间。相应的，所述结束时间也实时变化，具体为开始启动所述烘箱 的烘烤时的当前时间和烘烤时长计算得到的结束时间。

执行步骤S130：将所述当前时间与每个所述烘箱对应的烘烤结束时间进行 对比；

所述主线程周期性的被触发进行当前时间与每个所述烘箱对应的烘烤结束 时间的对比，其中，所述主线程每次获取并更新一次当前时间就进行一次对比。 每次对比为依次比较当前时间和存储在存储数组中的结束时间，并判断当前时 间和所述结束时间是否相同。

当所述烘箱对应的烘烤结束时间与所述当前时间相同，则执行步骤S140： 控制与当前时间相同的所述烘烤结束时间所对应的烘箱报警。

所述控制烘箱报警的方式为与当前时间相同的所述烘烤结束时间所对应的 烘箱所对应的子线程的输出指令传输到控制电路，使所述控制电路触发所述烘 箱对应的报警器发出提醒音。

每个子线程对应一个烘箱，所述子线程的输出与子线程对应的烘箱所对应 的指令，且通过通讯线程传输到控制电路，同时，所述子线程结束运行，并且， 所述子线程对应的烘烤结束时间也不再参与与当前时间的对比。

所述控制电路根据从通讯线程接受到的子线程的指令，触发所述子线程所 对应的烘箱上的报警器。

本实施例提供的硅片烘烤的控制方法中，将不同烘箱的烘烤时间集中管理， 方便工程人员进行监控和管理。

在本实施例中，采用将所述烘箱的结束时间放入主线程控制的存储单元中， 然后周期性的依次和当前时间比较的方式，不需要在每个子线程中设置变量， 节省硬件资源和减少运行时间。

另外，本实施例中，还可以在输入结束时间的时候，同时输入相对应的硅 片的相关信息，同时传入服务器中的数据管理系统，便于工程人员同一管理和 统计。

基于上述硅片烘烤的控制方法，本实施例提供了一种硅片烘烤的控制系统， 如图3所示。

所述硅片烘烤的控制系统包括烘烤结束时间获取模块901、当前时间获取模 块902、时间对比模块903、控制指令生成模块904、控制电路905和报警器906。

所述烘烤结束时间获取模块901用于获取烘箱的结束时间，至少为一个， 分别对应不同的烘箱。

所述当前时间获取模块902用于周期性的获取当前时间。

所述时间对比模块903用于周期性的比较每个所述烘烤结束时间获取模块 901中的结束时间和当前时间获取模块902中的当前时间，并判断所述结束时间 和当前时间是否相同；

所述控制指令生成模块904用于在判断所述结束时间和当前时间相同时， 发出指令给控制电路905，使所述控制电路905触发所述结束时间对应的所述烘 箱上的报警器906发出提醒音。

本实施例中，所述烘烤结束时间获取模块901包括烘烤时长获取模块和计 算模块。其中，所述烘烤时长获取模块用于分别获取每个所述烘箱的烘烤时长； 所述计算模块，用于根据每个所述烘烤时长获取模块中的烘烤时长和当前时间 计算出对应烘箱的所述结束时间。

所述控制指令生成模块904在判断所述结束时间和当前时间相同后，还用 于继续进行周期性的比较其它所述结束时间和当前时间，并判断其它所述结束 时间和当前时间是否相同。其中，所述当前时间获取模块902周期性的获取当 前时间的周期与所述比较判断单元周期性的依次比较当前时间和所述时间的周 期是同步的。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细， 但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域 的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和 改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附 权利要求为准。