硅片烘烤的控制方法、控制装置及其控制系统

摘要

一种硅片烘烤的控制方法，包括：获取至少一个烘箱的烘烤结束时间，每个所述烘烤结束时间分别与每个所述烘箱对应；按照预设时间间隔获取当前时间；将所述当前时间与每个所述烘箱对应的烘烤结束时间进行对比；当所述烘箱对应的烘烤结束时间与所述当前时间相同时，则控制与当前时间相同的所述烘烤结束时间所对应的烘箱报警。本发明的技术方案中提供的硅片烘烤的控制方法以及控制装置和控制系统中，将不同烘箱的烘烤时间集中管理，方便工程人员进行监控和管理。