法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-05
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01F23/30 申请公布日:20150318 申请日:20130819
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-03-18
公开
公开
机译: 罐内介质液位测量装置,使用传感器记录罐顶与装置之间距离的变化,以补偿罐顶移动
机译: 半导体光刻系统中用于抗蚀剂罐的空罐更换方法,在罐上具有电容式液位和气泡传感器以及机器可读代码
机译: 用于罐顶的夹具安装在罐顶的厚度测量装置中