法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-25
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01R31/08 申请公布日:20150415 申请日:20141222
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-05-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/08 申请日:20141222
实质审查的生效
2015-04-15
公开
公开
机译: 用于将MEMS(微机电系统)超声转换的装置,一种PMUT(压电微机械超声换能器)装置以及一种将有源转换器与多个钝化层相结合的有源矩阵转换器(一种方法)和一种用于解决问题的方法系统)超声波
机译: “一种用于微机械系统的装置和一种制造微机械装置的方法”
机译: 一种微机械结构及其使用方法,一种微机械装置及其制造方法