Разработка модели и исследование динамики микромеханического сенсорного устройства с электростатическим накатом упругих лепестков на сегнетоэлектрическую пленку

摘要

Разработана конструктивная схема сенсорного устройства маятникового типа с электростатическим накатом металлических упругих лепестков на поверхность сегпетоэлектрической пленки. Рассмотрены схемы организации измерений уровней силового и кинематического возмущений. Определены пондеромоторные силы, действующие на инерционную массу чувствительного элемента. Получены нелинейные дифференциальные уравнения движения инерционной массы. Определены допустимые области основных параметров сенсорного устройства. Для линейной модели сенсорного устройства приведен анализ чувствительности прибора.