静电微梁器件的降阶模型及其动态Pull-in不稳定性研究

摘要

微器件的设计需要利用计算机技术快速准确仿真其动态特性.以器件中结构件的模态振型函数作为基函数,结合Galerkin映射建立静电-结构耦合微梁器件的自由度缩减模型,该降阶模型能考虑初始轴向载荷、大变形几何非线性效应对器件基频及动态特性的影响.在Simulink(R)中建立单模态模型,并对器件的Pull-in过程进行动态仿真,分析了有阻尼和无阻尼情况下,静电器件动态Pull-in的分叉现象.