法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-27
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/324 申请公布日:20141119 申请日:20130322
发明专利申请公布后的驳回
2015-05-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/324 申请日:20130322
实质审查的生效
2014-11-19
公开
公开
机译: 在先进的退火工艺中减少颗粒的设备和方法
机译: 在高级退火工艺中减少颗粒的设备和方法
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