プラズマエッチング装置のパーティクル低減：パーティクル低減のための装置状態評価·解析技術

摘要

半導体製造技術は、現在も日々進歩を続けている。様々な成膜プロセス工程の中で、酸化プロセスは長きに渡り重要な役割を担っている。今回のレポートでは、その酸化プロセス、及び成膜装置を取り巻く汚染の状況、及びその対策について報告を行う。