一种具有轴向高分辨率的三差动共焦显微镜成像方法及成像装置

摘要

一种具有轴向高分辨率的三差动共焦显微镜成像方法及成像装置，通过三差动探测改进原有共焦显微镜的轴向分辨率。系统光路中，利用针孔轴向微位移装置改变共焦显微镜光探测处针孔的轴向位置，实现信号的三差动探测。本发明在保证针孔位移量的稳定性的同时，提高了分辨能力，且实现简单。