采用单个运算放大器的超导量子干涉器磁传感器

摘要

本发明涉及一种采用单个运算放大器的超导量子干涉器磁传感器，其特征在于使用一个低噪声的运算放大器，以开环的方式对SQUID电压信号进行放大，并由单个运算放大器开环输出直接驱动反馈电阻及反馈线圈。取代了传统磁通锁定环路中的前置放大器和积分器。所述的采用单个运算放大器SQUID磁通锁定环路有正、负端输入接线方式，且正、负端输入接线方式各有三种形式可选。本发明特点是只使用一个运算放大器实现SQUID磁通锁定环路，电路简单。避免了传统电路中积分器的使用，减小环路延时，使磁通锁定环路实现更高的带宽。在SQUID多通道应用中具有重要的意义。

说明书

技术领域

本发明涉及一种采用单个运算放大器的超导量子干涉器磁传感器，更确 切地说涉及一种超导量子干涉器件读出电路，属于电路技术领域。

背景技术

采用超导量子干涉器件(Superconducting Quantum Interference Device,以 下简称SQUID)构建的磁传感器是目前已知最灵敏的磁传感器。广泛应用于 生物磁场、地球磁场异常、极低场核磁共振等微弱磁场探测应用领域，其磁 场探测灵敏度已经达到飞特(10^-15特斯拉)量级。是极微弱磁场探测和研究 中重要的磁传感器。

直流超导量子干涉器(简称dc SQUID)是由两个超导约瑟夫森结并联形 成一个超导环。在约瑟夫森结两端引出接线，形成了一个两端子元件。当 SQUID两端加载一定的偏置电流时，基于超导量子化效应和约瑟夫森效应， SQUID两端产生的电压将随超导环感应外磁通大小而变化。由于SQUID输出 电压与其探测磁通成非线性关系，无法直接通过测量SQUID两端电压来获得 探测的磁通大小。因此，实际应用的SQUID磁传感器是由SQUID器件与放 大电路构成的磁通锁定环路(Flux-Locked Loop，以下简称FLL)来实现的。 该磁通锁定环路称为SQUID读出电路。

文献【D.Drung and M.Mück,The SQUID Handbook,vol.I,J.Clarke and A. I.Braginski,Ed.Weinheim:Wiley-VCH,pp.128–155,2006.】中典型的SQUID 磁通锁定环路如图1所示。首先给SQUID加载一定偏置电流I_b使其具有最大 的磁通电压传输率。将SQUID电压信号接入一个前置放大器进行放大。同时 调节偏置电压V_b,使得SQUID在具有最大磁通电压传输率时输出电压的直流 量为零。此时SQUID当前的偏置电流I_b、偏置电压V_b及所加载磁通Φ_a取值 状态称为工作点。前置放大器输出接入积分器进行积分，积分器的输出驱动 反馈电阻向反馈线圈注入反馈电流，由反馈线圈与SQUID的互感产生反馈磁 通耦合到SQUID中。

磁通锁定环路的工作原理是：在磁通锁定环路保持SQUID工作点稳定时， 当被测磁通发生一个变化量ΔΦ，SQUID端产生一个偏离工作点的电压变化Δv, 经前置放大器放大后，送入积分器进行积分，调整积分器的输出电压。经反 馈电阻、反馈线圈调整反馈磁通抵消上述外部输入的磁通变化量，使SQUID 在工作点输入积分器的电压为零，积分器停止积分，环路恢复稳定。工作点 稳定状态称为读出电路锁定。在锁定状态下，磁通锁定环路输出电压V_f就与 SQUID感应的外磁通变化量成正比【D.Drung“High-Tc and low-Tc dc SQUID  electronics”Supercond.Sci.Technol.161320–1336(2003).】，即V_f＝ΔΦ·R_f/M_f， 其中ΔΦ为SQUID检测的磁通变化量，R_f为反馈电阻，M_f为反馈线圈与SQUID 的互感。,

在电路实现上，传统SQUID磁通锁定环路通常使用前置放大器对SQUID 微弱电压信号进行低噪声放大，再将放大后的信号接入积分器进行积分反馈。 因此传统的SQUID磁通锁定环路采用至少一个前置放大电路与一个积分器级 联电路再连接反馈电阻、反馈线圈构成。在实际应用中，采用积分器的SQUID 磁通锁定环路存在以下几个问题：

1)带宽受限：采用积分器的读出电路，使用至少两级以上的放大电路， 增大了环路信号的延时，使高频信号传输产生相移，造成环路振荡【D.Drung  and M.Mück,The SQUID Handbook,vol.I,J.Clarke and A.I.Braginski,Ed. Weinheim:Wiley-VCH,pp.128–155,2006.】，因此必须增大积分电容，消除振 荡，实现磁通锁定环路稳定工作，积分电容的增大，降低了磁通锁定回路的 带宽。

2)摆率受限：积分电路的输出是其输入信号随时间积分的结果，当检测 信号发生突变，积分器无法快速响应，因此传感器电压输出的摆率受限。难 以满足高摆率磁场探测的要求。

3)至少使用两个以上的运算放大器及外围电路，电路复杂，功耗大。

SQUID器件的信号响应可以从直流到GHz，具有高速高带宽特性。上述 采用积分器的读出电路在响应带宽、摆率特性上限制了SQUID磁传感器性能。 此外，SQUID芯片采用微电子技术制备，具有体积小，集成化的独特优势， 在多通道，高分辨率探测系统如采用SQUID的64通道心磁图仪、200多通道 的脑磁图仪中广泛应用。多通道系统对SQUID磁传感器小型化提出更高要求。 因此，简化SQUID读出电路设计对SQUID多通道应用具有重要意义和实用 价值。本发明试图在解决这方面问题作开创性工作。

发明内容

本发明的目的在于提供一种采用单个运算放大器的超导量子干涉器磁传 感器，本发明是针对多通道高度集成的SQUID系统，设计更简化的读出电路 构建SQUID磁传感器。

SQUID比半导体放大器具有更高的响应速度，它可与放大器实现稳定的 负反馈回路。因此本发明构思是只使用一个低噪声的运算放大器，以开环的 方式对SQUID电压信号进行放大，并由单个运算放大器开环输出直接驱动反 馈电阻及反馈线圈。从而取代了传统磁通锁定环路中的前置放大器和积分器， 实现了更简单的SQUID磁通锁定环路的构建。采用单个运算放大器的SQUID 磁通锁定环路有以下两种接线方式：

1)正端输入接线方式，如图2所示。偏置电流源提供的偏置电流I_b加载 到SQUID中，SQUID电压信号接入运算放大器的正输入端。偏移电压V_b接 入运算放大器的负输入端。运算放大器的输出端接反馈电阻R_f的一端，反馈 电阻的另一端接反馈线圈，反馈线圈与SQUID通过互感耦合，运算放大器输 出电压驱动反馈电阻R_f产生电流，通过反馈线圈与SQUID互感M_f产生反馈 磁通，构成磁通锁定环路。

所述的正端输入接线方式有实施方式1、3和5(即A、B和C)三种中 的一种(详见具体实施方式)。

2)负端输入接线方式，如图3所示。偏置电流源提供的偏置电流I_b加载 到SQUID中，SQUID电压信号接运算放大器的负输入端，偏移电压V_b接运 算放大器的正输入端。运算放大器的输出端接反馈电阻R_f的一端，反馈电阻 的另一端连接反馈线圈，反馈线圈与SQUID通过互感耦合，运算放大器输出 电压驱动反馈电阻R_f产生电流，通过反馈线圈与SQUID互感M_f产生反馈磁 通，构成磁通锁定环路。

所述的负端输入接线方式有实施方式2、4和6(即D、E和F)三种中的 任一种(详见具体实施方式)。

本发明只使用一个运算放大器实现SQUID磁通锁定环路，电路简单。避 免了传统环路中积分器电路的使用，减小环路延时，使磁通锁定环路实现更 高的带宽。运算放大器直接输出驱动反馈电阻和反馈线圈，避免了积分电容 的影响，磁通锁定环路可实现更高的摆率。此外，上述电路采用单个运算放 大器和少量外围电路构成，电路体积小，功耗低，大大减少多通道SQUID传 感器集成的整体体积和功耗，在SQUID多通道应用中具有重要的意义。

附图说明

图1.典型直读式读出电路原理。

图2.SQUID正端输入的单个运算放大器磁通锁定环路原理图。

图3.SQUID负端输入的单个运算放大器磁通锁定环路原理图。

图4.单个运算放大器SQUID磁通锁定环路具体实施方式1；图中B1、 B2分别为偏置电流或偏置电压调节电路。

图5.单个运算放大器SQUID磁通锁定环路具体实施方式2。

图6.单个运算放大器SQUID磁通锁定环路具体实施方式3。

图7.单个运算放大器SQUID磁通锁定环路具体实施方式4。

图8.单个运算放大器SQUID磁通锁定环路具体实施方式5。

图9.单个运算放大器SQUID磁通锁定环路具体实施方式6。

具体实施方式

本发明有以下六种具体实施方式：

1)具体实施方式1，如图4所示，即正端输入接线方式A；

1.供电电源+Vs和-Vs：整个电路采用双极性电源供电，即正电源端+Vs 接入正电压电源和负电源端-Vs接入负电压电源。正电源+Vs供电范围从+5V 到+15V，相应的负电源-Vs供电范围在-5V到-15V之间。

2.SQUID偏置电流调节电路B1：其功能是给SQUID加载一个流向SQUID 两个约瑟夫森结的偏置电流，电流大小可调节。通过调节加载到SQUID的偏 置电流的大小，使得SQUID获得最佳的磁通电压转换特性。可调偏置电流电 路具体实例如图3中B1模块所示：可调电位器R_A1是一个三端子的可调电阻， 其中电位器的1和2的两端为一个固定阻值的电阻，其电阻值在10k欧姆到 100k欧姆之间取值为最优。电位器的3端为可调电阻抽头。电位器R_A1的1 和2两端分别接到正电源+Vs和负电源-Vs。电位器R_A1的3端输出电位器电 阻分压，通过调节电位器抽头位置产生可调电压。该电压输出接电阻R₁,电阻 R₁的另一端作为偏置电流源的输出端与SQUID串联。电阻R₁的取值在50k 欧姆～200k欧姆之间。通过调节可调电位器R_A1可产生±100uA范围的直流偏 置电流。

3.SQUID偏置电压调节电路B2：其功能是产生一个可调节的直流电压， 接入运算放大器的负输入端。通过调节使该电压与SQUID工作点处的直流电 压相同，实现工作点调零。可调偏置电压电路具体实例如图3中B2模块所示： 可调电位器R_A2是一个三端子的可调电阻器，其中电位器的1和2两端为一个 固定阻值的电阻，其电阻值在10k欧姆到100k欧姆之间取值为最优。电位器 R_A1的1和2两端分别接正电源+Vs和负电源-Vs，可变电阻引出抽头端3端 输出电阻分压，该电压接电阻R₃的一端，R₃另一端与R₂串联，R₂另一端接 地。在R₂与R₃连接端将产生的电阻分压引出作为偏置电压信号V_b。该偏置 电压的调节范围为±100uV。电阻R₃取值通常在1欧姆到10欧姆之间，以降 低其在运算放大器输入端引入的热噪声。电阻R₂的取值范围在10k欧姆到 100k欧姆之间。

4.SQUID器件SQ1：SQ1使用低温直流超导量子干涉器件(放置在4.2K 的液氦温度下工作)或高温直流超导量子干涉器件(放置在77K的液氮温度 下工作)，是一个两端子器件。SQ1的一端接入运算放大器正输入端，同时与 偏置电流电路B1的电流输出端相连。SQ1的另一端接地。

5.反馈线圈L1：是一个与SQUID具有互感耦合的线圈，互感值为M_f。 反馈线圈将反馈回路产生的电流转变成反馈磁通耦合到SQUID中，形成抵消 磁通。反馈线圈L1一端接反馈电阻R_f,另一端接地。

6.运算放大器U1：采用双极性供电的低噪声运算放大器，具有正输入端 和负输入端两个电压信号输入端，一个电压信号放大输出端。图中运算放大 器正输入端接SQUID电压输出，负输入端接偏置电压输出，放大器输出作为 磁通锁定环路的输出，作为整个传感器的输出。同时接反馈电阻R_f。为了实 现SQUID电压信号的低噪声放大和磁通锁定环路高线性度输出，本发明的运 算放大器优选低输入电压噪声和高带宽、高开环增益特性的器件：放大器电 压噪声在1nV/√Hz左右，开环增益大于120dB，带宽增益积大于10MHz。常 用的低噪声运算放大器有美国ADI公司的AD797和凌特(Linear Technology) 公司的LT1028。

7.反馈电阻R_f：反馈电阻R_f一端接运算放大器U1的输出，另一端接反馈 线圈L1。反馈电阻R_f将放大器输出电压转换为反馈电流输入反馈线圈，产生 反馈磁通。R_f取值在100欧姆到10k欧姆之间。

2)具体实施方式2，如图5所示，即正端输入接线方式D；

将实施方式1中的SQUID电压信号接入运算放大器U1的负输入端，偏 置电压信号接入运算放大器的正输入端，其余接线同具体实施方式1。

3)具体实施方式3，如图6所示，即正端输入接线方式B；

磁通锁定环路受外部干扰会发生失锁，造成输出溢出。通过复位开关可 以使磁通锁定环路恢复锁定。本实施方式3是在实施方式1的基础上，增加 一个复位开关K1，实现复位功能。K1的一端接运算放大器U1的负输入端， K1的另一端接运算放大器U1的输出端。当复位开关闭合时，运算放大器U1 的输出端与负输入端等电位。运算放大器由开环高增益放大变为单位增益的 放大，输出迅速减小，电路实现复位。当复位开关K1断开时，电路重新锁定。

4)具体实施方式4，如图7所示，即正端输入接线方式E；

将实施方式3中的SQUID电压信号接入运算放大器U1的负输入端，偏 置电压信号接入运算放大器的正输入端，其余接线同具体实施方式3。

5)具体实施方式5，如图8所示，即正端输入接线方式C；

SQUID磁传感器在上电使用时，需要重新调节偏置电流和偏置电压，使 SQUID获得最佳工作点。本实施方式5是在实施方式3的基础上，增加一个 反馈电阻R_g和一个单刀双掷开关SW1，使得磁通锁定环路具备工作点调试功 能。单刀双掷开关具有三个接线端子，其中端子3定义为为单刀固定接线端， 端子1定义为第一触点接线端，端子2定义为第二触点接线端。SW1的单刀 固定接线端与运算放大器U1的输出端相连。SW1的端子1接线端与电阻Rg 一端连接，R_g的另一端接运算放大器U1的负输入端。SW1的端子2接线端 与接反馈电阻R_f一端相连，反馈电阻Rf另一端接反馈线圈L1。当SW1单刀 开关与第二触点断开，与第一触点接通，电阻R_g与运算放大器U1输出端连 接。此时，磁通锁定环路开环运行，运算放器U1工作在比例放大模式，实现 SQUID电压信号的比例放大。监测运算放大器的输出电压V_f，可观测磁通电 压传输特性曲线，辅助SQUID工作点，偏置电流和偏置电压的调节。在完成 最佳的偏置电压、偏置电压调节后，将SW1单刀开关与第一触点断开，与第 二触点接通，运算放大器U1输出端与反馈电阻R_f连接，此时磁通锁定环路 闭环实现锁定输出。

6)具体实施方式6，如图9所示，即正端输入接线方式F；

将实施方式5中的SQUID电压信号接入运算放大器U1的负输入端，偏 置电压信号接入运算放大器的正输入端，其余接线同具体实施方式5。