法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-06
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G06F19/00 申请公布日:20141203 申请日:20140825
发明专利申请公布后的驳回
2014-12-31
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F19/00 申请日:20140825
实质审查的生效
2014-12-03
公开
公开
机译: 目标定位装置,用于驱动目标定位装置的方法以及包括这种目标定位装置的光刻系统
机译: 目标定位设备,用于驱动目标定位设备的方法以及包括这种目标定位设备的光刻系统。
机译: 目标定位设备,用于驱动目标定位设备的方法以及包括这种目标定位设备的光刻系统。