具有综合流动感应能力的微型阀

摘要

具有综合流动感应能力的微型阀，本发明涉及一种用于控制流体从源流到负载的流动的系统，其包括源。通/断型控制阀与该源连通。微机电系统与通/断型控制阀连通。消耗装置与微机电系统连通。电子控制器与消耗装置和源连通。电子控制器测量由流过微机电系统的流体流动所导致的微机电系统的参数变化，以感应流过微机电系统的流体流动。