一种偶极环磁铁反应腔电弧的监测方法

摘要

本发明公开一种偶极环磁铁反应腔电弧的监测方法，该方法包含以下步骤：1、检测反应腔等离子体电压；2、求前后两秒之间反应腔等离子体电压的差值；3、绘制并实时显示每片晶圆工艺过程中的反应腔等离子体电压差值跟踪图；4、判断反应腔等离子体电压每间隔两秒的差值是否大于阈值，若是，则偶极环磁铁反应腔发生电弧，并停止工艺进行，若否，则继续进行工艺。本发明通过等离子体电压差值计算，绘制等离子体电压差值跟踪图，能及时探测到晶圆或设备电弧的发生，从而降低晶圆破损的潜在危险，本发明操作简单、效果明显。