法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-15
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B15/20 申请公布日:20150114 申请日:20130704
发明专利申请公布后的驳回
2015-07-08
专利申请权的转移 IPC(主分类):C30B15/20 变更前: 变更后: 登记生效日:20150618 申请日:20130704
专利申请权、专利权的转移
2015-02-11
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B15/20 申请日:20130704
实质审查的生效
2015-01-14
公开
公开
机译: 一种计算硅熔体表面的高度位置的方法,拉动硅单晶的方法,以及硅单晶拉动装置
机译: 在单晶生长设备中测量熔体液面位置的装置和方法
机译: 一种用于测量电炉中电极位置的装置,该装置考虑了控制柱,其中至少一个激光器组放置在基本结构的至少一部分上,并与一个集成的参考元件配合使用。我们被电震惊了。